英杰電氣：已具備半導(dǎo)體設(shè)備部分機臺射頻電源的國產(chǎn)化替代以及量產(chǎn)能力

英杰電氣1月11日在互動平臺表示，射頻電源訂單前幾個月已經(jīng)開始放量，向重點客戶批量供貨，目前公司已經(jīng)具備了半導(dǎo)體設(shè)備（刻蝕機、PECVD等）部分機臺射頻電源的國產(chǎn)化替代以及量產(chǎn)的能力，其余機臺的射頻電源研發(fā)也正在有序推進，目前推進進度良好。