盛劍環(huán)境:PW3000機型先后取得揚州新瑞、天合光能等客戶的批量訂單

盛劍環(huán)境近期接受投資者調(diào)研時稱,公司在L/S設備方面,研發(fā)驗證等離子+水洗雙腔樣機,填補了公司在雙腔設備機型方面的空白。在國際高難度制程的常壓EPI領(lǐng)域,公司完成國內(nèi)首臺套水洗+燃燒+水洗的設備廠內(nèi)性能驗證和SEMI認證,并與某集成電路頭部客戶達成合作測試驗證協(xié)議。同時,積極開拓新能源領(lǐng)域市場,結(jié)合TOPcon電池PE-Poly工藝高SiH4和H?的特點,定向研發(fā)PW3000機型有效解決了粉塵堵塞PM周期短的痛點,提升客戶的生產(chǎn)稼動率,并先后取得揚州新瑞、天合光能等客戶的批量訂單;在真空設備方面,完成了2款機型的研發(fā)驗證測試,并首次獲得集成電路領(lǐng)域的維保服務訂單;在溫控設備方面,完成首款三通道產(chǎn)品的研發(fā)驗證測試。

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天合光能

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