晶瑞電材5月8日公告，9萬(wàn)噸硫酸產(chǎn)能方面，一期3萬(wàn)噸已經(jīng)投產(chǎn)，并向部分12英寸核心半導(dǎo)體廠商進(jìn)行供應(yīng)，二期6萬(wàn)噸預(yù)計(jì)將于今年建成。
公司i線光刻膠已向中芯國(guó)際、合肥長(zhǎng)鑫等國(guó)內(nèi)的知名大尺寸半導(dǎo)體廠商供貨；KrF光刻膠生產(chǎn)及測(cè)試線已經(jīng)建成，且KrF光刻膠部分品種已于2022年開始量產(chǎn)，今年將發(fā)力拓展新客戶；公司于2020年啟動(dòng)了集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目，并于2020年下半年購(gòu)買了ASML1900Gi型光刻機(jī)及配套設(shè)備，目前ArF高端光刻膠研發(fā)工作在有序開展中。